工作(zuò)原理(lǐ):采用(yòng)研磨带高(gāo)速運轉(zhuǎn)、对(duì)面(miàn)闆CF側/TFT側表面(miàn)進(jìn)行清(qīng)洁
産品特(tè)性(xìng):
适用(yòng)面(miàn)闆尺(chǐ)寸(cùn):15~24寸(cùn)
清(qīng)洁後(hòu)、Particle(颗(kē)粒(lì)物(wù))>10um以(yǐ)上(shàng)不(bù)可(kě)有(yǒu)
ESD≦±100V
工序流程:
LOAD→預湿(shī)→毛(máo)刷(一(yī)組) →上(shàng)研磨→下研磨→喷淋→UNLOAD
NO | 技術(shù)參數 | 單位(wèi) | 規格 |
1 | 适用(yòng)面(miàn)闆尺(chǐ)寸(cùn) | 英寸(cùn) | 15~24 |
2 | 生(shēng)産节(jié)拍(T/T) | 秒 | 12~15 |
3 | 清(qīng)洁後(hòu)Particle(颗(kē)粒(lì)物(wù)) | um | >10以(yǐ)上(shàng)不(bù)可(kě)有(yǒu) |
4 | ESD(静(jìng)電(diàn)釋放(fàng)) | V | ≤±100 |